Barry | Chemistry of Atomic Layer Deposition | Buch | 978-3-11-071251-3 | sack.de

Buch, Englisch, 105 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm, Gewicht: 214 g

Reihe: De Gruyter graduate

Barry

Chemistry of Atomic Layer Deposition


1. Auflage 2021
ISBN: 978-3-11-071251-3
Verlag: De Gruyter

Buch, Englisch, 105 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm, Gewicht: 214 g

Reihe: De Gruyter graduate

ISBN: 978-3-11-071251-3
Verlag: De Gruyter

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.

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Zielgruppe

For chemistry graduate students and engineers in thin film deposi

Autoren/Hrsg.

Barry, Seán Thomas

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.

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