Coffa / Ferla / Rimini | Ion Implantation Technology - 94 | E-Book | sack.de
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E-Book, Englisch, 1030 Seiten, Web PDF

Coffa / Ferla / Rimini Ion Implantation Technology - 94


1. Auflage 1995
ISBN: 978-0-444-59972-8
Verlag: Elsevier Science & Techn.
Format: PDF
 Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

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ISBN: 978-0-444-59972-8
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The aim of these proceedings is to present and stimulate discussion on the many subjects related to ion implantation among a broad mix of specialists from areas as diverse as materials science, device production and advanced ion implanters.The contents open with a paper on the future developments of the microelectronics industry in Europe within the framework of the global competition. The subsequent invited and oral presentations cover in detail the following areas: trends in processing and devices, ion-solid interaction, materials science issues, advanced implanter systms, process control and yield, future trends and applications.

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Autoren/Hrsg.

Coffa, S.
Ferla, G.
Rimini, E.
Priolo, F.
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