Götz / Pliete | Mikrosystemtechnik | Buch | 978-3-486-76152-8 | sack.de

Buch, Deutsch, 350 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm

Götz / Pliete

Mikrosystemtechnik


Buch, Deutsch, 350 Seiten, Format (B × H): 170 mm x 240 mm

ISBN: 978-3-486-76152-8
Verlag: De Gruyter

Die Mikrosystemtechnik befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung von Systemen im Mikrometermaßstab, die heutzutage in fast jedem elektronischen Gerät zu finden sind. Das Buch stellt die Vielfalt der Herstellmethoden systematisch und stets mit Bezug auf aktuelle Anwendungen dar. Dazu gehören Verfahren wie Schichtabscheidung, Lithografie, 3D-Strukturierung durch Ätzen, Nanoimprinting, Mikrofräsen und -bohren sowie die modernen Inkjet-Ansätze zum direkten Druck von Nano- und Mikrostrukturen.
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Autoren/Hrsg.

Götz, Friedrich
Pliete, Martin

Fachgebiete

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