Hildebrandt | Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken | Buch | 978-3-639-40954-3 | sack.de

Buch, Deutsch, 96 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 161 g

Hildebrandt

Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken

Ermittlung von Poliertuchdicken und -abtrag im CMP-Prozess durch Lasertriangulation
Erscheinungsjahr 2012
ISBN: 978-3-639-40954-3
Verlag: VDM Verlag Dr. Müller

Ermittlung von Poliertuchdicken und -abtrag im CMP-Prozess durch Lasertriangulation

Buch, Deutsch, 96 Seiten, Paperback, Format (B × H): 150 mm x 220 mm, Gewicht: 161 g

ISBN: 978-3-639-40954-3
Verlag: VDM Verlag Dr. Müller

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Autoren/Hrsg.

Hildebrandt, Sven
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