Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry

1. Auflage 2002
ISBN: 978-0-471-31671-8
Verlag: Wiley

Buch, Englisch, 384 Seiten, Format (B × H): 155 mm x 236 mm, Gewicht: 640 g

Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden hier in alphabetischer Reihenfolge zusammengetragen. Unter anderem finden Sie Hinweise zu chemischen Prozessen und Anwendungen, zur sicheren Handhabung der Chemikalien, zum Verhalten bei Unfällen, zur Abfallentsorgung, zu Reinheitsanforderungen und auch zu Lieferanten. Jeder Eintrag wird durch Literaturhinweise ergänzt. Mit ausführlichen Querverweisen!

Autoren/Hrsg.

Misra, Ashutosh

Hogan, Jeremiah D

Chorush, Russell A

Fachgebiete

• Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Schwermetalle und Chemikalien
• Technische Wissenschaften Elektronik | Nachrichtentechnik Elektronik Halb- und Supraleitertechnologie
• Naturwissenschaften Chemie Physikalische Chemie

Inhaltsverzeichnis

Thin Film Deposition Materials.

Wafer Cleaning Chemicals.

Photolithography Materials.

Wet and Dry Etching Materials.

Chemical Mechanical Planarizing Materials.

Carrier Gases.

Uncategorized Materials.

Semiconductor Chemicals Analysis.

Index.

Über Autor(innen)

ASHUTOSH MISRA is Director of Applications and New Product Development for Air Liquide Electronics, Inc.

JEREMIAH D. HOGAN is Director of Physical Analysis Laboratories for Texas Instruments, Inc.

RUSSELL A. CHORUSH is an associate at the law firm of Conley, Rose and Tayon, PC.