Scanning Electron Microscopy

Physics of Image Formation and Microanalysis
2. Auflage 1998
ISBN: 978-3-540-63976-3
Verlag: Springer Berlin Heidelberg

Buch, Englisch, 529 Seiten, Format (B × H): 160 mm x 241 mm, Gewicht: 2060 g

Reihe: Springer Series in Optical Sciences

Scanning Electron Microscopy provides a description of the physics of electron-probe formation and of electron-specimen interactions. The different imaging and analytical modes using secondary and backscattered electrons, electron-beam-induced currents, X-ray and Auger electrons, electron channelling effects, and cathodoluminescence are discussed to evaluate specific contrasts and to obtain quantitative information.

Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Reimer, Ludwig

Weitere Mitwirkende

Hawkes, P.W.

Fachgebiete

• Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Dünne Schichten
• Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Festkörperphysik, Kondensierte Materie
• Naturwissenschaften Physik Elektromagnetismus Mikroskopie, Spektroskopie
• Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Werkstoffkunde, Materialwissenschaft: Forschungsmethoden
• Technische Wissenschaften Sonstige Technologien | Angewandte Technik Angewandte Optik

Inhaltsverzeichnis

Electron Optics of a Scanning Electron Microscope.- Electron Scattering and Diffusion.- Emission of Backscattered and Secondary Electrons.- Electron Detectors and Spectrometers.- Image Contrast and Signal Processing.- Electron-Beam-Induced Current and Cathodoluminescence.- Special Techniques in SEM.- Crystal Structure Analysis by Diffraction.- Elemental Analysis and Imaging with X-Rays.