Sputtering of Compound Materials
Buch, Englisch, 518 Seiten, Paperback, Format (B × H): 152 mm x 229 mm, Gewicht: 767 g
ISBN: 978-3-642-05931-5
Verlag: Springer
An invaluable resource for industrial science and engineering newcomers to sputter deposition technology in thin film production applications, this book is rich in coverage of both historical developments and the newest experimental and technological information about ceramic thin film, a key technology for nano-materials in high-speed information applications and large-area functional coating such as automotive or decorative painting of plastic parts.
Key topics: Principles and examples of making thin-film materials and devices such as nanometer composite thin films, nanometer superlattice of compound ceramics, micro-sensors and actuators, micro-MEMS, mobile compact/flexible ferroelectric memory, flat display including plasma display and PLD, and thin film catalysis, solar battery, and large-area functional window glass coating for energy and environmental uses; Covers techniques in automotive parts coatings :non-peel plastics coatings with metal, alloy, and compound films.
Zielgruppe
Professional/practitioner
Autoren/Hrsg.
Fachgebiete
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Physik, Chemie für Ingenieure
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Werkstoffprüfung
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Werkstoffkunde, Materialwissenschaft: Forschungsmethoden
- Technische Wissenschaften Technik Allgemein Nanotechnologie
- Technische Wissenschaften Verfahrenstechnik | Chemieingenieurwesen | Biotechnologie Technologie der Oberflächenbeschichtung
- Naturwissenschaften Physik Thermodynamik Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Dünne Schichten
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Produktionstechnik Fertigungstechnik
- Technische Wissenschaften Maschinenbau | Werkstoffkunde Technische Mechanik | Werkstoffkunde Materialwissenschaft: Verbundwerkstoffe
Weitere Infos & Material
Thin Film Materials And Devices.- Thin Film Processes.- Sputtering Phenomena.- Sputtering Systems.- Deposition Of Compound Thin Films.- Structural Control Of Compound Thin Films.- Microfabrication By Sputtering.- Appendix.- Index.
