Wutz / Adam / Walcher Handbuch Vakuumtechnik

Theorie und Praxis
7., erweiterte Auflage 2000
ISBN: 978-3-322-99947-4
Verlag: Vieweg & Teubner
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

E-Book, Deutsch, 733 Seiten, eBook

Autoren/Hrsg.

Wutz, Max

Adam, Hermann

Walcher, Wilhelm

Weitere Mitwirkende

Jousten, Karl

Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung.- 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.- 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.- 1.3 Literatur.- 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.- 2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases.- 2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen.- 2.3 Die Gesetze des idealen Gases.- 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand.- 2.5 Transportvorgänge.- 2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation.- 2.7 Gasdynamik.- 2.8 Literatur.- 3 Sorption und Desorption.- 3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.- 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.- 3.3 Praktische Hinweise zu Adsorption und Desorption.- 3.4 Absorption, Okklusion.- 3.5 Ausgasung.- 3.6 Literatur.- 4 Strömungsvorgänge.- 4.1 Übersicht, Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereich.- 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen.- 4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand.- 4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe.- 4.5 Strömuna im Grobvakuumbereich.- 4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.- 4.7 Strömung im Feinvakuum.- 4.8 Strömung bei Temperaturdifferenz zwischen zwei Kesseln/ Rezipienten/Gefäßen. Thermische Effusion.- 4.9 Messung von Strömungsleitwerten.- 4.10 Literatur.- 5 Verdrängerpumpen.- 5.0 Übersicht.- 5.1 Oszillations-Verdrängerpumpen.- 5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen.- 5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.- 5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen).- 5.5 Trocken verdichtende Vorpumpen.- 6 Treibmittelpumpen.- 6.1 Einleitung, Übersicht.- 6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen.- 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.- 6.4 Diffusionspumpen.- 6.5 Diffusionspumpen — Dampfstrahlpumpen.- 6.6 Literatur.- 7 Molekularpumpen.- 7.1 Einleitung.- 7.2 Molekularpumpen.- 7.3 Turbomolekularpumpen.-7.4 Theorie der einstufigen Turbomolekularpumpe.- 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.- 7.6 Betriebshinweise.- 7.7 Anwendungen.- 7.8 Literatur.- 8 Sorptionspumpen.- 8.1 Adsorptionspumpen.- 8.2 Gasaufzehrung durch Getter.- 8.3 Ionenzerstäuberpumpe.- 8.4 Literatur.- 9. Kondensatoren.- 9.1 Kondensatoren a1s Vakuumpumpen.- 9.2 Bauarten von Kondensatoren.- 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.- 9.5 Literatur.- 10 Kryotechnik und Kryopumpen.- 10.1 Einleitung.- 10.2 K?hlverfahren.- 10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen.- 10.4 Temperaturmes sung.- 10.5 Kryostatentechnik.- 10.6 Kryopumpen.- 10.7 Literatur.- 11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte.- 11.1 Druck und Teilchenanzahldichte; Ubersicht.- 11.2 Mechanische Vakuummeter.- 11.3 Fliissigkeitsmanometer.- 11.4 Warmeleitungsvakuummeter.- 11.5 Ionisationsvakuummeter.- 11.6 Partialdruckmeßgeräte.- 11.7 Lecksuchgeräte.- 11.8 Literatur.- 12 Lecksuchtechnik.- 12.1 Überblick.- 12.2 Überdruckverfahren.- 12.3. Lecksuchverfahren bei Vakuum.- 12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte.- 12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche.- 12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung.- 12.7 Literatur.- 13 Werkstoffe.- 13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung.- 13.2 Die Werkstoffe im einzelnen.- 13.3 Gasdurchlässigkeit.- 13.4 Gasabgabe.- 13.5 Literatur.- 14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen.- 14.1 Nichtlösbare Verbindungen.- 14.2 Lösbare Verbindungen.- 14.3 (Vakuum-) Behälter.- 14.4. Durchführungen.- 14.5 Flexible Verbindungsstücke.- 14.6 Absperrorgane (Ventile).- 14.7 Reinigen vakuumtechnischer Werkstoffe und Bauelemente.- 14.8 Literatur.- 15 Arbeitstechnik in den einzelnen Druckbereichen.- 15.1 Allgemeine Hinweise.- 15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum.- 15.3 Arbeitstechnik imFeinvakuum.- 15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum.- 15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum.- 15.6 Literatur.- 16 Kalibrierungen und Normen.- 16.1 Einleitung.- 16 2 Kalihrierunv von Vakuummeßgeräten.- 16.3 Kalibrierungen von Partialdruckmeßgeräten.- 16.4 Kalibrierungen von Testlecks.- 16.5 Normen für die Bestimmung von Kenngrößen von Vakuumpumpen.- 16.6 Literaturverzeichnis.- 17 Anhang.- 17.A Tabellen.- 17.B Diagramme.- 17.C Erläuterung einiger häufiger verwendeter Abkürzungen.- 17.D Formelzeichen (Symbole) häufiger verwendeter physikalischer Größen und deren SI-Einheiten.- Sachwortverzeichnis.- Bezugsquellenverzeichnis.

Über Autor(innen)

Prof. em. Dr. Wilhelm Walcher, Universität Marburg, Institut für experimentelle Physik Dr. Klaus Jousten, Leiter des Vakuumtechnischen Labors an der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), Berlin