Buch, Deutsch, Band 12, 159 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 239 g
Buch, Deutsch, Band 12, 159 Seiten, PB, Format (B × H): 148 mm x 210 mm, Gewicht: 239 g
Reihe: Bayreuther Beiträge zur Sensorik und Messtechnik
ISBN: 978-3-8440-3336-6
Verlag: Shaker
erschiedene Fertigungsprozesse werden bisher ausschließlich manuell gesteuert, da eine zeitvariante Regelstrecke und die Verfügbarkeit von Messwerten in diskreten, nicht-äquidistanten und großen Zeitabständen eine automatische Prozessregelung erschweren.
Dieses Problem wird in der vorliegenden Arbeit am Beispiel der Abscheidung dünner Schichten zur Herstellung organischer Leuchtdioden (OLED) untersucht und das Vorgehen zur Lösung beschrieben. Die Schichtwachstumsrate ist hier die entscheidende Messgröße, ihr Messsignal liegt aber im Bereich der Störgrößen. Ein statistisches Filter und eine Sensordatenfusion ermöglichen dennoch eine prozesstaugliche Erfassung. Es wird eine Multikaskadenregelung für die beschriebenen Eigenschaften der Strecke konzipiert und gezeigt, dass diese dem bisher üblichen Betrieb mit manuellen Eingriffen überlegen ist. Ein pragmatisches Expertensystem wird für die Produktmerkmalsregelung entwickelt. Es nutzt linguistische Regeln und kann jederzeit erweitert werden. Damit steht ein Baukasten für die automatisierte OLED-Fertigung zur Verfügung.
