Liu | Material Science and MEMS Production | Sonstiges | 978-3-03795-742-4 | sack.de

Sonstiges, Englisch, Band Volume 901, Format (B × H): 125 mm x 142 mm, Gewicht: 200 g

Reihe: Advanced Materials Research

Liu

Material Science and MEMS Production


Erscheinungsjahr 2014
ISBN: 978-3-03795-742-4
Verlag: Trans Tech Publications

Sonstiges, Englisch, Band Volume 901, Format (B × H): 125 mm x 142 mm, Gewicht: 200 g

Reihe: Advanced Materials Research

ISBN: 978-3-03795-742-4
Verlag: Trans Tech Publications


Collection of selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China.
The 19 papers are grouped as follows:
Chapter 1: Materials Science, Processing and Application,
Chapter 2: MEMS Design and Production
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