Dai / Nassar | Modelling of Microfabrication Systems | Buch | 978-3-642-05536-2 | sack.de

Buch, Englisch, 270 Seiten, Paperback, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 429 g

Reihe: Microtechnology and MEMS

Dai / Nassar

Modelling of Microfabrication Systems


1. Auflage. Softcover version of original hardcover Auflage 2003
ISBN: 978-3-642-05536-2
Verlag: Springer

Buch, Englisch, 270 Seiten, Paperback, Format (B × H): 155 mm x 235 mm, Gewicht: 429 g

Reihe: Microtechnology and MEMS

ISBN: 978-3-642-05536-2
Verlag: Springer

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
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Zielgruppe

Research

Autoren/Hrsg.

Dai, Weizhong
Nassar, Raja

Fachgebiete

Weitere Infos & Material

1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.

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