Nassar / Dai | Modelling of Microfabrication Systems | E-Book | sack.de
E-Book

E-Book, Englisch, 270 Seiten, eBook

Reihe: Microtechnology and MEMS

Nassar / Dai Modelling of Microfabrication Systems


Erscheinungsjahr 2013
ISBN: 978-3-662-08792-3
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark

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Reihe: Microtechnology and MEMS

ISBN: 978-3-662-08792-3
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Zielgruppe


Research


Autoren/Hrsg.


Weitere Infos & Material


1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.



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