E-Book, Englisch, 270 Seiten, eBook
Reihe: Microtechnology and MEMS
Nassar / Dai Modelling of Microfabrication Systems
Erscheinungsjahr 2013
ISBN: 978-3-662-08792-3
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
E-Book, Englisch, 270 Seiten, eBook
Reihe: Microtechnology and MEMS
ISBN: 978-3-662-08792-3
Verlag: Springer
Format: PDF
Kopierschutz: 1 - PDF Watermark
Zielgruppe
Research
Autoren/Hrsg.
Weitere Infos & Material
1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.