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Halb- und Supraleitertechnologie
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Cavallini / Richter / Kittler Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology XII
Selected, peer reviewed papers from Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology - GADEST 2007" held from 14th to 19th October 2007 in Italy at the EMFCSCErscheinungsjahr 2008Verlag: Trans Tech PublicationsISBN: 978-3-908451-43-3Medium: BuchLieferzeit ca. 10 Werktage
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